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一种用于清洁粘附有未反应树脂的部件、特别是利用光刻生成制造工艺制造的部件的方法，包括：清洁步骤，其中将部件放入清洁室(1)中，部件在清洁室中(1)与清洁介质接触，由此使树脂从部件脱落，以及将载有脱落的树脂的清洁介质从清洁室(1)中排出；和再...
该专利属于库比科有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过库比科有限责任公司授权不得商用。

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