下载带粘着层的防护膜组件框的制造方法、带保护膜的防护膜组件框、带粘着层的防护膜组件框、防护膜组件和带防护膜组件的光掩模的技术资料

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本发明提供一种能够抑制将防护膜组件贴附于光掩模时的滞留气泡数量的带粘着层的防护膜组件框的制造方法。本公开的带粘着层的防护膜组件框的制造方法具备如下工序:准备框前体的工序,上述框前体具备防护膜组件框(11)和形成于上述防护膜组件框(12)的作...
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