下载基于光谱二维横向编码的共焦位移传感器系统的技术资料

文档序号:43246246

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本发明涉及一种基于光谱二维横向编码的共焦位移传感器系统,属于共聚焦显微镜技术领域。本发明的系统包括:第一分束器,第二分束器,物镜驱动器;第一分束器还连接有两个呈90°设置的横向和纵向系统,横向系统连接第一超连续谱激光器,纵向系统连接第二超连...
该专利属于中国科学院长春光学精密机械与物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院长春光学精密机械与物理研究所授权不得商用。

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