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本发明公开了一种三维霍尔传感器的制备方法及三维霍尔传感器，方法包括：提供异质结外延片，异质结外延片包括：衬底，沉积在衬底表面的氮化镓沟道层以及沉积在氮化镓沟道层表面的氮化铝镓势垒层；对氮化铝镓势垒层的表面进行刻蚀，形成台面图案；台面图案包括...
该专利属于深圳大学所有，仅供学习研究参考，未经过深圳大学授权不得商用。

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