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本发明涉及弹性波器件技术领域,特别涉及一种弹性波器件,其包括衬底、激励电极、罩部件和焊盘电极,衬底上具有连通的第一凹槽和第二凹槽,第二凹槽高于第一凹槽,激励电极设置在第一凹槽内,罩部件设置在第二凹槽内并覆盖在激励电极上方,罩部件与衬底的第一...该专利属于泉州市三安集成电路有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过泉州市三安集成电路有限公司授权不得商用。
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本发明涉及弹性波器件技术领域,特别涉及一种弹性波器件,其包括衬底、激励电极、罩部件和焊盘电极,衬底上具有连通的第一凹槽和第二凹槽,第二凹槽高于第一凹槽,激励电极设置在第一凹槽内,罩部件设置在第二凹槽内并覆盖在激励电极上方,罩部件与衬底的第一...