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本发明实施例提供了喷嘴装置以及干法刻蚀设备，所述喷嘴装置包括：上向下依次层叠的线圈装配、盖板、调整支架、以及，与盖板连接且延伸至外侧的喷嘴管路；其中，喷嘴管路包括气体传输管和喷嘴，气体传输管的一端连接喷嘴，另一端连接有气体输入部，气体传输管...
该专利属于浙江创芯集成电路有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过浙江创芯集成电路有限公司授权不得商用。

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