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公开了一种确定来自衬底上的目标的感兴趣参数的值的方法。该方法包括获取量测数据，该量测数据包括使用相应的不同测量波长获得的感兴趣的单波长参数值；以及从所述感兴趣的单波长参数值的堆叠灵敏度得出的加权组合确定所述感兴趣的参数值。还公开了一种至少基...
该专利属于ASML荷兰有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过ASML荷兰有限公司授权不得商用。

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