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配置有硅片限制件模块的前开式硅片盒制造技术
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文档序号:4319689
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本发明一种前开式硅片盒,主要包括一盒体,其内部设有多个插槽,以容置多个硅片,且在盒体的一侧面形成一开口可供多个硅片的输入及输出,以及一门体,其具有一外表面及一内表面,门体是以内表面与盒体的开口相结合,并用以保护盒体内部的多个硅片,其中前开式...
该专利属于家登精密工业股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过家登精密工业股份有限公司授权不得商用。
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