下载一种量子点雪崩光电二极管及其制备方法的技术资料

文档序号:43194612

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本发明具体公开了一种量子点雪崩光电二极管及其制备方法,将半绝缘GaAs衬底送入MBE腔,利用MBE腔内高温去除半绝缘GaAs衬底表面的氧化层,在去除表面氧化层的半绝缘GaAs衬底上依次生长GaAs N型接触层、低掺杂GaAs N型缓冲层、I...
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