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本技术涉及晶圆片传送技术领域，尤其涉及一种晶圆传送装置，包括导轨、滚轮、连接杆、运输壳、气缸一、滑动板和电机，运输壳与连接杆固定连接，并位于连接杆的上方，气缸一与运输壳拆卸连接，并位于运输壳的内部，滑动板与气缸一拆卸连接，并位于气缸一的上方...
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