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一种晶圆片倒角设备制造技术
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下载一种晶圆片倒角设备的技术资料
文档序号:43169500
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本技术公开了一种晶圆片倒角设备,具体涉及倒角设备领域,包括支撑框架和固定连接在支撑框架上的悬臂,支撑框架的顶部设置有转动盘,支撑框架内侧的顶部设置有第一旋转电机,且第一旋转电机的输出端活动贯穿支撑框架,并与转动盘固定连接,悬臂上设置有用于晶...
该专利属于上海磐盟电子材料有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海磐盟电子材料有限公司授权不得商用。
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