下载用于去除外延层的方法和相应的半导体结构的技术资料

文档序号:43164003

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本发明涉及用于去除外延层的方法和相应的半导体结构。提供了方法(100)和半导体结构。该方法包括以下步骤:提供(101)包括至少一个外延层和具有第一厚度的基板的半导体结构;以预定图案从所述基板去除(102)所述至少一个外延层以在所述基板上形成...
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