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提供一种封装结构及制备方法。该封装结构包括:基板,具有第一表面以及与第一表面相对的第二表面;裸片,耦接到基板的第一表面,并且裸片包括沸腾换热增强表面,沸腾换热增强表面通过对硅晶圆的表面进行改性处理得到;多个连接件,耦接到基板的第二表面。本公...该专利属于平头哥(上海)半导体技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过平头哥(上海)半导体技术有限公司授权不得商用。
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提供一种封装结构及制备方法。该封装结构包括:基板,具有第一表面以及与第一表面相对的第二表面;裸片,耦接到基板的第一表面,并且裸片包括沸腾换热增强表面,沸腾换热增强表面通过对硅晶圆的表面进行改性处理得到;多个连接件,耦接到基板的第二表面。本公...