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本发明涉及膜片阀技术领域，具体公开了一种半导体用高压自成形膜片阀，包括与管道连接的阀体，所述阀体内设置有凹腔和第一L型阀道以及第二L型阀道，所述第一L型阀道通过凹腔与第二L型阀道连通，所述凹腔内活动设置有阀杆，所述阀体上螺纹连接有六角螺母，...
该专利属于科哲（上海）阀门有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过科哲（上海）阀门有限公司授权不得商用。

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