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本发明提供用于硅单晶提拉的石英玻璃坩埚，是将非晶质二氧化硅结晶化而成的结晶二氧化硅的面积抑制在坩埚面积的１０％以下，将坩埚内表面的开气泡产生的凹部的密度限制在０．０１～０．２ｃｏｕｎｔ／ｍｍ↑［２］的石英玻璃坩埚，以及提供使用该石英坩埚，将...该专利属于日本超精石英株式会社;胜高股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过日本超精石英株式会社;胜高股份有限公司授权不得商用。
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本发明提供用于硅单晶提拉的石英玻璃坩埚，是将非晶质二氧化硅结晶化而成的结晶二氧化硅的面积抑制在坩埚面积的１０％以下，将坩埚内表面的开气泡产生的凹部的密度限制在０．０１～０．２ｃｏｕｎｔ／ｍｍ↑［２］的石英玻璃坩埚，以及提供使用该石英坩埚，将...