下载多晶硅还原炉底座密封垫片及制作工艺的技术资料

文档序号:43152330

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本发明涉及一种多晶硅还原炉底座密封垫片及制作工艺。包括矩形部和半圆形部;所述半圆形部一体成型在矩形部的一表面上;制作工艺,包括以下步骤,将备好的原材料加入到密炼机中,在密炼机中搅拌混合;得到流体形式的垫片胶料;将垫片胶料注入到垫片模具中,使...
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