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本技术涉及半导体器件技术领域，具体涉及一种承载台，包括底座和承载组件；承载组件包括转动机构、安装盒、多个夹块、多个螺杆、多个从动锥齿轮、第一电机和主动锥齿轮；转动机构用于带动安装盒旋转，从而带动限位在安装盒上的晶圆片旋转；在使用时，将晶圆片...
该专利属于阿博索伯（苏州）自动化设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过阿博索伯（苏州）自动化设备科技有限公司授权不得商用。

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