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本申请属于用于晶圆制造的辅助装置技术领域，尤其是涉及一种调节模块及装置。该调节模块包括支撑件、升降机构、平动机构以及摆动机构。升降机构用于支撑待调节件并能够带动待调节件沿Z向升降运动；平动机构，与升降机构相连并能够带动升降机构与待调节件一起...
该专利属于东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过东方晶源微电子科技（北京）股份有限公司授权不得商用。

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