调节模块及装置制造方法及图纸

本申请属于用于晶圆制造的辅助装置技术领域，尤其是涉及一种调节模块及装置。该调节模块包括支撑件、升降机构、平动机构以及摆动机构。升降机构用于支撑待调节件并能够带动待调节件沿Z向升降运动；平动机构，与升降机构相连并能够带动升降机构与待调节件一起沿Y向往复运动；摆动机构，设置于支撑件上，且摆动机构与平动机构相连并能够带动平动机构、升降机构以及待调节件一起相对支撑件摆动。待调节件在升降机构、平动机构以及摆动机构的作用下具备多个方向上的活动自由度，通过各调节模块中相应的机构进行配合驱动，即可实现调节待调节件的位置。

【技术实现步骤摘要】

本申请属于用于晶圆制造的辅助装置，尤其是涉及一种调节模块及装置。

技术介绍

1、激光干涉仪是一种利用激光干涉原理进行测量的精密仪器，激光干涉仪具有高精度、高分辨率、非接触等优点，在高端制造领域被应用广泛。

2、激光干涉仪通常由光源、分束器、反射镜、透镜、检测器等组成。其中，反射镜的安装精度是影响激光干涉仪测量精度的重要因素之一。

3、目前，反射镜主要通过胶粘方式实现固定安装，在胶粘的过程中需要不断调试反射镜的方位，确定反射镜的位置合适后定位并等待软胶完全固化，反射镜的安装周期过长。

4、应理解地，通过胶粘方式进行固定后，如若发现反射镜具备装配误差，难以对反射镜的安装位置进行修正。

技术实现思路

1、本申请提供了一种调节模块及装置，以解决现有反射镜安装固定后难以再次修正的技术问题。

2、根据本申请的一个方面，提供了一种调节模块，包括支撑件、升降机构、平动机构以及摆动机构。升降机构用于支撑待调节件并能够带动待调节件沿z向升降运动；平动机构，与升降机构相连并能够带动升本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种调节模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的调节模块，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的调节模块，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的调节模块，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的调节模块，其特征在于，

6.根据权利要求4所述的调节模块，其特征在于，

7.根据权利要求6所述的调节模块，其特征在于，

8.根据权利要求6所述的调节模块，其特征在于，

9.根据权利要求1所述的调节模块，其特征在于，

10.一种调节装置，其特征在于，包括多个权利要求1-9任一项所述...

【技术特征摘要】

1.一种调节模块，其特征在于，包括：

2.根据权利要求1所述的调节模块，其特征在于，

3.根据权利要求2所述的调节模块，其特征在于，

4.根据权利要求2所述的调节模块，其特征在于，

5.根据权利要求4所述的调节模块，其特征在于，

6.根据权利要求4所述的调节模块，其特征在于，

7.根据权利要求6...

【专利技术属性】
技术研发人员：郝琪，李鹏，陈捷，蒋俊海，
申请(专利权)人：东方晶源微电子科技北京股份有限公司，
类型：发明
国别省市：