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本技术公开一种用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，属于晶体硅电池扩散设备领域，包括扩散炉炉管，所述扩散炉炉管包括炉口端和炉尾端，所述炉尾端连通有大流量气体进气管路，所述扩散炉炉管的周侧连通有至少一排通源气体进气管，一排中的多个所述通源气体进气管...
该专利属于一道新能源科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过一道新能源科技股份有限公司授权不得商用。

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