【技术实现步骤摘要】
本技术属于晶体硅电池扩散设备领域，具体涉及一种用于提高方阻均匀性的管式扩散炉。
技术介绍
1、在晶体硅太阳能电池生产中，扩散工艺的主要用途是在高温条件下对太阳能电池片进行掺杂形成pn结。扩散制备pn结的工艺对于太阳能电池的转换效率具有重要影响，是太阳能电池生产中极为重要的工序。扩散就是物质分子从高浓度区域向低浓度区域转移，直到均匀分布的现象。扩散的速率与物质的浓度梯度成正比。在半导体pn结的形成过程中，自由电子和空穴的扩散运动是基本依据，扩散速度在气体中最大，液体中其次，固体中最小，而且浓度差越大，温度越高，参与的粒子质量越小，扩散速度也越快。
2、现有技术的扩散石英炉管的炉体长度大概有4米左右，通源方式有两种，炉口通源，或者炉尾通源，两种方式均会导致远离通源口的一段通源浓度偏低，扩散后同一根炉管方阻值差异较大，对后续产品一致性造成很大影响，工艺调试难度大。
3、为解决通源气体分布不均匀的问题，公开号为cn206143306u的中国技术专利提出一种管式pecvd机台喷气管路，在石英炉管中设置有位于所述炉口和所述炉...
【技术保护点】
1.一种用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，其特征在于，包括扩散炉炉管(1)，所述扩散炉炉管(1)包括炉口端和炉尾端，所述炉尾端连通有大流量气体进气管路(4)，所述扩散炉炉管(1)的周侧连通有至少一排通源气体进气管，一排中的多个所述通源气体进气管沿所述扩散炉炉管(1)的中轴线等间隔排列。
2.根据权利要求1所述的用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，其特征在于，每个所述通源气体进气管分别连接一个流量阀。
3.根据权利要求2所述的用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，其特征在于，所述通源气体进气管设置为一排，位于所述扩散炉炉管(1)的顶部。
4.根据...
【技术特征摘要】
1.一种用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，其特征在于，包括扩散炉炉管(1)，所述扩散炉炉管(1)包括炉口端和炉尾端，所述炉尾端连通有大流量气体进气管路(4)，所述扩散炉炉管(1)的周侧连通有至少一排通源气体进气管，一排中的多个所述通源气体进气管沿所述扩散炉炉管(1)的中轴线等间隔排列。
2.根据权利要求1所述的用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，其特征在于，每个所述通源气体进气管分别连接一个流量阀。
3.根据权利要求2所述的用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，其特征在于，所述通源气体进气管设置为一排，位于所述扩散炉炉管(1)的顶部。
4.根据权利要求2所述的用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，其特征在于，所述通源气体进气管设置为两排，两排所述通源气体进气管对称分布在所述扩散炉炉管(1)的两对侧。
5.根据权利要求4所述的用于提高方阻均匀性的管式扩散炉，其特征在于，两排所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：洪成浩，闫用用，刘向东，徐宸，兰李宁，蔡伦，
申请(专利权)人：一道新能源科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：
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