下载坩埚测量装置和设备的技术资料

文档序号:43138056

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本申请提供一种坩埚测量装置和设备,涉及单晶硅生长领域;其中,该坩埚测量装置包括机架、第一测量件和第二测量件;机架设有坩埚测量位,坩埚测量位内具有垂直于坩埚测量位的测量中心轴线;第一测量件滑动地设置于坩埚测量位的一侧,且第一测量件设有第一抵接...
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