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本申请涉及离子注入技术领域，具体提供了一种聚焦束流自动调整系统、方法及离子注入机，该系统包括：四极磁透镜组，正对离子源机构的输出端，其包括至少一个X磁透镜和至少一个Y磁透镜；透镜位置调节组件，用于调节X磁透镜和/或Y磁透镜的位置；法拉第杯，...
该专利属于季华恒一（佛山）半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过季华恒一（佛山）半导体科技有限公司授权不得商用。

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