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一种器件结构、太赫兹波调制器、通信装置和制备方法制造方法及图纸
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下载一种器件结构、太赫兹波调制器、通信装置和制备方法的技术资料
文档序号:43132890
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本申请提供了,一种器件结构、太赫兹波调制器、通信装置和制备方法,该结构包括基底和M×N个调制单元,其中:基底包括第一层和第二层,第一层中设置有栅体,栅体包括M×N个孔洞,第二层覆盖于第一层之上,M和N为正整数;M×N个调制单元设置于第二层之...
该专利属于北京工业大学所有,仅供学习研究参考,未经过北京工业大学授权不得商用。
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