【技术实现步骤摘要】
本申请涉及通信领域，具体涉及一种器件结构、太赫兹波调制器、通信装置和制备方法。
技术介绍
1、空间光调制器(spatial light modulator,slm)是一种关键的光学器件，它能够在主动控制下调制光场的各种参量，如振幅、相位、偏振态等，slm能够根据调制信号对入射光的振幅、强度或相位等特性进行空间和时间的精确变换或调制。二氧化钒(vo2)在针对太赫兹波的slm领域中展现出了其独特的优异性质。二氧化钒具有独特的相变特性。
2、为了驱动二氧化钒的相变，以实现对太赫兹波的调制，往往需要将二氧化钒与其他材料进行复合，以实现对二氧化钒材料的温度控制。用于复合的材料需满足太赫兹波的高透射率特性，且需满足热能的产生。然而，上述复合材料的使用使得基于二氧化钒的太赫兹波调制器稳定性欠佳，且难以制备。这导致目前基于二氧化钒的太赫兹波调制器往往局限于单点控制，不能实现面阵控制。
技术实现思路
1、本申请提供一种器件结构、太赫兹波调制器、通信装置和制备方法，通过加入微栅结构作为基于二氧化钒...
【技术保护点】
1.一种器件结构，其特征在于，用于太赫兹波调制，所述结构包括基底和M×N个调制单元，其中：
2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述第二层用于透射所述太赫兹波。
3.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，所述第二层包括氮化硅材料，且所述第二层的厚度大于0μm，且小于或者等于5μm。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的结构，其特征在于，所述第三层包括第一材料，所述第一材料用于透射所述太赫兹波，且所述第一材料还用于产生焦耳热。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的结构，其特征在于，所述第三层包括碳纳米管或者石墨烯材料
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【技术特征摘要】
1.一种器件结构，其特征在于，用于太赫兹波调制，所述结构包括基底和m×n个调制单元，其中：
2.根据权利要求1所述的结构，其特征在于，所述第二层用于透射所述太赫兹波。
3.根据权利要求2所述的结构，其特征在于，所述第二层包括氮化硅材料，且所述第二层的厚度大于0μm，且小于或者等于5μm。
4.根据权利要求1至3中任一项所述的结构，其特征在于，所述第三层包括第一材料，所述第一材料用于透射所述太赫兹波，且所述第一材料还用于产生焦耳热。
5.根据权利要求1至4中任一项所述的结构，其特征在于，所述第三层包括碳纳米管或者石墨烯材料。
6.根据权利要求5所述的结构，其特征在于，所述第三层的厚度大于或者等于5nm，且小于或者等于50nm。
7.根据权利要求1至6中任...
【专利技术属性】
技术研发人员：马赫，吴建辉，戎路，王大勇，张新平，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：发明
国别省市：
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