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本发明公开了一种新型晶圆级单面电镀挂具,涉及晶圆加工技术领域,包括挂板,挂板上开设有贯穿挂板侧壁的圆形孔,挂板的一侧上方开设有两个导电板安装槽,两个导电板安装槽的内部均活动安装有导电板,挂板的内部活动安装有导电环,挂板的内部中间位置设置有晶...该专利属于苏州尊恒半导体科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过苏州尊恒半导体科技有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种新型晶圆级单面电镀挂具,涉及晶圆加工技术领域,包括挂板,挂板上开设有贯穿挂板侧壁的圆形孔,挂板的一侧上方开设有两个导电板安装槽,两个导电板安装槽的内部均活动安装有导电板,挂板的内部活动安装有导电环,挂板的内部中间位置设置有晶...