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本技术涉及一种动态可调节真空差分机构，其包括水冷阀门、支撑机构和支架，其中，水冷阀门包括外壳和差分组件，外壳通过支撑机构可移动地安装在支架上以将水冷阀门移动至光束线的光路上，差分组件包括通过执行机构可移动地安装在外壳内的差分孔结构，差分孔结...
该专利属于中国科学院上海高等研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院上海高等研究院授权不得商用。

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