一种动态可调节真空差分机构制造技术

本技术涉及一种动态可调节真空差分机构，其包括水冷阀门、支撑机构和支架，其中，水冷阀门包括外壳和差分组件，外壳通过支撑机构可移动地安装在支架上以将水冷阀门移动至光束线的光路上，差分组件包括通过执行机构可移动地安装在外壳内的差分孔结构，差分孔结构包括固定安装在水冷铜座的相对两侧的CVD片和碳化硼片，CVD片上的孔和碳化硼片上的孔形成小孔径差分孔，在保证光束通过的基础上实现真空差分。根据本技术的动态可调节真空差分机构，可以在光束线的特定光子能量范围内通过执行机构提起差分孔结构使之处于上位，从而使得本技术的装置能实现对不同光子能量光束的真空差分。

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及x射线自由电子激光领域，更具体地涉及一种动态可调节真空差分机构。

技术介绍

1、硬x射线自由电子激光具有很高的热负载，光束单脉冲能量可以达到毫焦量级，在第一晶体表面会吸收大部分热量，引起表面变形，从而导致透射的光子通量减少。国际上自由电子激光装置普遍采用气体衰减器，通过改变充气压力来调节光子通量。在气体衰减器中必须设计一种真空差分机构，用来缓冲机构两端的压差，避免发生瞬间气载，提高真空系统的稳定性。在这种应用背景下，对真空差分机构的设计提出更高的要求。

2、真空差分机构的设计难点在于保证光学高准直度的基础上实现真空差分，最好具有一定的热负载能力。首先，差分机构必须使光束线顺利通过，孔径不能无限制缩小，且必须保证其在光路中准确的位置。其次，硬x射线自由电子激光具有不同光子能量的光束，其光斑尺寸不同，应设计一款能适应不同光子能量的真空差分机构。最后，差分孔径决定了真空差分性能，其数值需由相应的模拟软件进行差分计算得出。

3、目前大多数真空差分机构为固定孔或管路，并无动态调节功能，无法应用于不同光子能量的光束线，且没有设计热保护本文档来自技高网...

【技术保护点】

1.一种动态可调节真空差分机构，其特征在于，该动态可调节真空差分机构包括水冷阀门、支撑机构和支架，其中，水冷阀门包括外壳和差分组件，外壳通过支撑机构可移动地安装在支架上以将水冷阀门移动至光束线的光路上，差分组件包括通过执行机构可移动地安装在外壳内的差分孔结构，差分孔结构包括固定安装在水冷铜座的相对两侧的CVD片和碳化硼片，CVD片上的孔和碳化硼片上的孔形成小孔径差分孔，在保证光束通过的基础上实现真空差分。

2.根据权利要求1所述的动态可调节真空差分机构，其特征在于，CVD片通过挡环压在水冷铜座内，碳化硼片通过压块固定在水冷铜座的另一端。

3.根据权利要求1所述的动...

【技术特征摘要】

1.一种动态可调节真空差分机构，其特征在于，该动态可调节真空差分机构包括水冷阀门、支撑机构和支架，其中，水冷阀门包括外壳和差分组件，外壳通过支撑机构可移动地安装在支架上以将水冷阀门移动至光束线的光路上，差分组件包括通过执行机构可移动地安装在外壳内的差分孔结构，差分孔结构包括固定安装在水冷铜座的相对两侧的cvd片和碳化硼片，cvd片上的孔和碳化硼片上的孔形成小孔径差分孔，在保证光束通过的基础上实现真空差分。

2.根据权利要求1所述的动态可调节真空差分机构，其特征在于，cvd片通过挡环压在水冷铜座内，碳化硼片通过压块固定在水冷铜座的另一端。

3.根据权利要求1所述的动态可调节真空差分机构，其特征在于，外壳的内部具有可移动的阀座，水冷铜座密封地固定连接在阀座上。

4.根据权利要求3所述的动态可调节真空差分机构，其特征在于，差分组件还包括水冷管道，水冷铜座与阀座限定间隙，水冷管道内部的水流通向间隙以形成水路对水冷铜座进行冷却。

5.根据权利要...

【专利技术属性】
技术研发人员：沈逸，吴帅，王进伟，刘俊男，陈家华，祝万钱，薛松，
申请(专利权)人：中国科学院上海高等研究院，
类型：新型
国别省市：