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本发明的课题是提供可以从由水电解得到的副产氧除去低沸点成分而以低成本获得超高纯度氧的超高纯度氧制造方法。解决手段是超高纯度氧制造方法包含下述工序：将包含低沸点成分作为杂质的原料氧从主热交换器1的温端导入、冷却后导入到氧精馏塔5，从氧精馏塔5...
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