【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及超高纯度氧制造方法和超高纯度氧装置。特别是涉及杂质浓度被控制在ppb水平以下的超高纯度氧的制造。
技术介绍
1、作为氧中的杂质，甲烷等高沸点成分和氩等低沸点成分被控制为ppb水平以下的高纯度氧的需求特别是面向半导体产业。
2、作为将杂质除去的方法，已知将催化剂与吸附材料并用的方法、将氧液化而通过精馏操作进行分离的深冷分离法，但特别是关于氩杂质，由于化学上为非活性、分子尺寸与氧分子极其接近，因此难以通过吸附法、分子筛而除去，深冷分离法是适当的。
3、作为获得超高纯度氧的方法，已知将由空气分离装置供给的液态氧(参照例如专利文献1)或液态氧(参照例如专利文献2)精馏的方法；或从将空气精馏的精馏塔导出除去了高沸点成分的含氧液，通过氧精馏塔将氩除去的方法。
4、专利文献3是在复式精馏系统中制造超高纯度氧的方法，专利文献4是在单式氮精馏系统中制造超高纯度氧的方法。
5、然而，作为制造超高纯度氧的原料，有时以将水电解而产生氢时的副产氧作为原料。该来源于水电解的氧与由以大气成分作为原料的空气...
【技术保护点】
1.一种超高纯度氧制造方法，其中，使用具备主热交换器、氮精馏塔、氮冷凝器、氧精馏塔、氧蒸发器的空气分离装置，所述超高纯度氧制造方法包含下述工序：
2.根据权利要求1所述的超高纯度氧制造方法，其进一步包含下述工序：在所述氧精馏塔的上方或顶部所具备的氧冷凝器中，利用从中压精馏塔供给的液态氮或含氧液、从空气分离装置的外部供给的液态氮或液态空气作为冷却介质，将从所述氧精馏塔供给的含有低沸点成分的氧流液化，作为其回流液而供给到氧精馏塔的顶部的工序。
3.根据权利要求1所述的超高纯度氧制造方法，其进一步包含下述工序：将从所述主热交换器的中途导出的原料氧的一...
【技术特征摘要】
1.一种超高纯度氧制造方法，其中，使用具备主热交换器、氮精馏塔、氮冷凝器、氧精馏塔、氧蒸发器的空气分离装置，所述超高纯度氧制造方法包含下述工序：
2.根据权利要求1所述的超高纯度氧制造方法，其进一步包含下述工序：在所述氧精馏塔的上方或顶部所具备的氧冷凝器中，利用从中压精馏塔供给的液态氮或含氧液、从空气分离装置的外部供给的液态氮或液态空气作为冷却介质，将从所述氧精馏塔供给的含有低沸点成分的氧流液化，作为其回流液而供给到氧精馏塔的顶部的工序。
3.根据权利要求1所述的超高纯度氧制造方法，其进一步包含下述工序...
【专利技术属性】
技术研发人员：广濑献儿，
申请(专利权)人：乔治洛德方法研究和开发液化空气有限公司，
类型：发明
国别省市：
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