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本发明涉及低能重离子的束流监测，具体涉及用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置及方法，为解决现有技术中存在位置分辨能力低无法反应小尺寸样品内的注量率及其均匀性且对低能重离子束流的稳定性要求较高的不足之处，多功能束流监测装置包括二次电子发射薄...
该专利属于西北核技术研究所所有，仅供学习研究参考，未经过西北核技术研究所授权不得商用。

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