【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及低能重离子的束流监测，具体涉及用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置及方法。
技术介绍
1、宇航器件的单粒子效应是航天器面临的主要威胁之一，通常使用重离子加速器开展其在地面上的单粒子效应研究与考核评估。宇航器件的重离子加速器辐照试验一般在真空环境中开展，常用的重离子为低能重离子，其离子能量最高仅有几个mev/u，这种低能重离子在硅中射程小于1mm。
2、试验中，用户最关心的参数为辐照终端的注量率及其均匀性，因此在辐照过程中对这些关键参数进行实时、直接的测量是非常必要的。而低能重离子束流的在线监测具有相当大的难度，常用的平板电离室、半导体、闪烁体等探测器不再适合作为透射型监测装置。目前已有采用若干个计数型探测器组合标定的间接测量装置，但受限于常规计数型探测器的位置分辨能力(一般大于1mm)，辐照终端为小尺寸样品时，无法反应小尺寸样品内的注量率及其均匀性，且这种间接测量装置及方法对低能重离子束流的稳定性要求较高，不能完全契合辐照试验过程中的监测需求。
技术实现思路
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【技术保护点】
1.一种用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
2.根据权利要求1所述用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
4.根据权利要求1-3任一所述用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
5.根据权利要求4所述用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
6.根据权利要求5所述用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
7.一种用于重离子辐照终端的多功能束流监测方法，采用...
【技术特征摘要】
1.一种用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
2.根据权利要求1所述用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
3.根据权利要求2所述用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
4.根据权利要求1-3任一所述用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：
5.根据权利要求4所述用于重离子辐照终端的多功能束流监测装置，其特征在于：...
【专利技术属性】
技术研发人员：王迪，陈伟，王忠明，王敏文，闫逸花，吕伟，罗尹虹，张凤祁，
申请(专利权)人：西北核技术研究所，
类型：发明
国别省市：
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