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提供了一种方法和一种系统，所述方法和所述系统被配置为：获得半导体样本的图像，所述半导体样本包括：一个或多个阵列，每个阵列包括重复结构元素；以及一个或多个区，每个区至少部分地包围对应阵列并且包括与重复结构元素不同的特征，其中PMC被配置为在半...
该专利属于应用材料以色列公司所有，仅供学习研究参考，未经过应用材料以色列公司授权不得商用。

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