下载一种纳米薄膜压力测量传感器的技术资料

文档序号:43117543

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本发明属于传感器技术领域,具体涉及一种纳米薄膜压力测量传感器。包括由上自下设置的输出座、连接罩、芯体总成、芯体安装座及引压底座,输出座和连接罩连接,连接罩内部为空腔结构,连接罩内部的空腔结构设有芯体总成,连接罩的下部和芯体安装座连接,芯体安...
该专利属于核电运行研究(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过核电运行研究(上海)有限公司授权不得商用。

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