下载一种GaN基发光二极管外延片及其制备方法、LED芯片的技术资料

文档序号:43113450

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本发明公开了一种GaN基发光二极管外延片及其制备方法、LED芯片,涉及半导体器件技术领域,所述外延片包括:衬底,以及依次层叠于所述衬底之上的缓冲层、非掺杂GaN层、N型半导体层、应力释放层、多量子阱层与P型半导体层;其中,所述P型半导体层为...
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