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本公开提供一种高度检测设备、高度检测系统及检测顶针组件高度信息的方法，涉及半导体设备检测的技术领域。高度检测设备包括框架，测量平台和测量组件。测量平台设置于框架的顶面，测量平台具有装配区域及测量区域，装配区域用于放置待测件。测量组件可移动地...
该专利属于北京屹唐半导体科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京屹唐半导体科技股份有限公司授权不得商用。

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