下载铁电存储器结构的技术资料

文档序号:43097320

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本发明公开一种铁电存储器结构,包括基底、第一导线、第一介电层、通道柱、第二导线、栅极柱、第二介电层与铁电材料层。第一导线位于基底上。第一介电层位于第一导线上。通道柱位于第一导线上,且位于第一介电层中。第二导线位于第一介电层与通道柱上。栅极柱...
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