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一种光学变焦菲索干涉仪制造技术
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下载一种光学变焦菲索干涉仪的技术资料
文档序号:43096042
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本发明涉及一种光学变焦菲索干涉仪,包括:光源部,发出具有视场角的光线;第一光路方向,第一光路方向上依次设置有PBS分光镜、四分之一波片、前聚焦镜组、标准镜和被测物,所述前聚焦镜组具有变焦功能,光线经过所述四分之一波片后穿过前聚焦镜组,并准直...
该专利属于上海恢卓光学科技有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海恢卓光学科技有限公司授权不得商用。
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