【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及干涉仪，具体而言，涉及一种光学变焦菲索干涉仪。
技术介绍
1、光学菲索干涉仪就是利用干涉原理测量光程之差从而测定有关物理量的光学仪器，两束相干光间光程差的任何变化都会非常灵敏的导致干涉条纹的移动，而某一束相干光的光程变化是由它所通过的几何路程或者介质折射率的变化引起，所以干涉仪是以光波波长为单位测量光程差的，其测量精度之高是其他测量方法所无法比拟的。
2、随着新的面形测量需求的出现，传统菲索干涉仪的测量方案已不能满足测量要求。现有技术的菲索干光学干涉仪都是定焦的干涉仪主机，根据测试镜片的半径不同，配合不同f数或平面的标准镜对镜面面形进行测量。但是在测量不规则翘曲的薄的平面的面形时，传统菲索干涉仪的测量就具有一定的局限性了。当利用平面标准镜测量不规则翘曲平片的时候，翘曲过大的部分，会产生密集条纹，由于干涉仪的相机像素尺寸有限，当干涉条纹过密时，干涉仪就无法通过解析条纹来计算翘曲平片的面形分布。
技术实现思路
1、本专利技术的目的是提供一种光学变焦菲索干涉仪。
...【技术保护点】
1.一种光学变焦菲索干涉仪,其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种光学变焦菲索干涉仪，其特征在于，
3.如权利要求2所述的一种光学变焦菲索干涉仪，其特征在于，
4.如权利要求3所述的一种光学变焦菲索干涉仪，其特征在于，
5.如权利要求4所述的一种光学变焦菲索干涉仪，其特征在于，
6.如权利要求5所述的一种光学变焦菲索干涉仪，其特征在于，
【技术特征摘要】
1.一种光学变焦菲索干涉仪,其特征在于，包括：
2.如权利要求1所述的一种光学变焦菲索干涉仪，其特征在于，
3.如权利要求2所述的一种光学变焦菲索干涉仪，其特征在于，
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【专利技术属性】
技术研发人员：陈明，李璟，
申请(专利权)人：上海恢卓光学科技有限公司，
类型：发明
国别省市：
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