下载版图拆分方法、计算机程序产品、设备及存储介质的技术资料

文档序号:43092904

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本发明涉及光刻工艺技术领域,特别涉及一种版图拆分方法、计算机程序产品、设备及存储介质。本发明提供的版图拆分方法包括以下步骤:获取初始版图,根据版图设计规则判断初始版图中两两图形之间的冲突关系,从而获得多对冲突图形和多个非冲突图形;对每对冲突...
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