下载一种快速升降温的多电极超高真空原位表征装置的技术资料

文档序号:43091179

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本发明涉及一种快速升降温的多电极超高真空原位表征装置。本发明包括超高真空腔体、操控装置、样品台、样品托、负电压源、正电压源和直流电源。操控装置安装在真空腔体上,包括样品架和样品杆,样品架设置有旋转台、操纵台和接线端子。样品台的铜台底座与样品...
该专利属于杭州师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过杭州师范大学授权不得商用。

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