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本发明涉及一种三(二甲胺基)硅烷的制备方法，包括以下步骤：S1、在惰性气体氛围下，将三氯硅烷与烷烃类溶剂加入反应器，形成混合液，并降温至0℃以下，于混合液中通入二甲胺，通气完成后，置于室温环境，反应4‑8h；S2、反应完成后，再次将混合液降...该专利属于中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种三(二甲胺基)硅烷的制备方法，包括以下步骤：S1、在惰性气体氛围下，将三氯硅烷与烷烃类溶剂加入反应器，形成混合液，并降温至0℃以下，于混合液中通入二甲胺，通气完成后，置于室温环境，反应4‑8h；S2、反应完成后，再次将混合液降...