下载半导体结构的制备方法、半导体结构、器件及设备的技术资料

文档序号:43090815

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本申请提供一种半导体结构的制备方法、半导体结构、器件及设备,方法包括:在衬底上形成多个有源结构;多个有源结构对称设置在介质墙结构的两侧,有源结构包括第一有源结构和第二有源结构,介质墙结构包括第一介质墙结构和第二介质墙结构;基于多个第一有源结...
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