温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请涉及信息技术领域，提供一种故障机台的查找方法、系统、设备、介质及产品。本申请的故障机台的查找方法包括：获取当前晶圆的刮伤线条信息和当前晶圆的物理中心坐标；基于当前晶圆的刮伤线条信息和当前晶圆的物理中心坐标，获取第一距离；其中，第一距离...
该专利属于上海朋熙半导体有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海朋熙半导体有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。