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本技术的一种硅片扩散用石英舟激光清洗设备，该激光清洗设备包括转盘机构和激光清洗机构；所述的转盘机构包括转盘、传动连接轴、转盘底座和旋转动力机构；所述的转盘水平设置且其顶面形成用于承载石英舟的石英舟承载面；所述的传动连接轴的上端固定在转盘底座...
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