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本发明公开了一种纳米压印过程中模具形变检测方法，属于变形监测技术领域，包括以下步骤：S1、获取模具在当前时刻的加工图像，并确定加工图像的第一空间单元、第二空间单元、第三空间单元和第四空间单元；S2、提取加工图像的变形监测点；S3、根据变形监...
该专利属于青岛天仁微纳科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过青岛天仁微纳科技有限责任公司授权不得商用。

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