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本发明属于薄膜制备技术领域，涉及一种热流传感器、绝缘薄膜及其制备方法，该制备方法基于电子束蒸镀系统，包括以下步骤：设定电子束蒸镀系统的镀膜程序，具体包括对沉积腔室温度、镀膜起始真空度、蒸镀时电子束功率、镀率以及工艺气流量的参数设定；所述沉积...
该专利属于中冶赛迪工程技术股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中冶赛迪工程技术股份有限公司授权不得商用。

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