下载快闪存储器件及其制造方法的技术资料

文档序号:4308045

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本发明涉及一种双位型NROM快闪存储器件及使用自对准方式制造该器件的方法。快闪存储器件包括:多个位线,埋入衬底中并且沿一个方向以规则间距彼此间隔开;浮置栅极,在衬底上每个位线的两侧对准;以及多个字线,与多个位线交叉并以规则间距彼此间隔开。在...
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