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快闪存储器件及其制造方法技术
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文档序号:4308045
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本发明涉及一种双位型NROM快闪存储器件及使用自对准方式制造该器件的方法。快闪存储器件包括:多个位线,埋入衬底中并且沿一个方向以规则间距彼此间隔开;浮置栅极,在衬底上每个位线的两侧对准;以及多个字线,与多个位线交叉并以规则间距彼此间隔开。在...
该专利属于东部高科股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过东部高科股份有限公司授权不得商用。
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