温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明提供一种成膜装置以及成膜方法，能够抑制成膜品质的降低。成膜装置(1)具备：基板保持部(231)，所述基板保持部保持基板(8)；成膜源(101)，所述成膜源在内部收容成膜材料，并朝向保持于基板保持部(231)的基板(8)放出成膜物质；移...
该专利属于佳能特机株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过佳能特机株式会社授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。