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本发明公开了一种X射线荧光光谱仪，涉及膜厚检测技术领域，包括主机组件，所述主机组件包括有主机外壳，所述主机外壳的底部固定连接有支撑底板，所述主机外壳的顶部固定连接有固定顶板。该X射线荧光光谱仪，通过启动真空泵，使其产生吸力，此时调节调压阀门...
该专利属于派镀科技（深圳）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过派镀科技（深圳）有限公司授权不得商用。

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